Gデバイス＠BEANSの研究プロジェクトがスタート

　このたびNEDO公募の「高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発（Gデバイス＠BEANS）」の研究プロジェクトをBEANS研究所が受託することが決まりました。今回は予算措置の都合上、実施期間が2010年度末までの短期間になりますが、企業、大学からなる18機関が結集して、将来の本格研究の初期段階としての初動研究を行います。



　本研究は、現在進行中のBEANSプロジェクトの一環として実施されるもので、次のような研究開発項目を掲げています。
１）高機能センサネットシステム開発
　 大口径MEMS用クリーンルームにおける各製造・評価装置や空調、純水製造等の周辺装置の消費エネルギー、温度、圧力、風量、異物粒子、ガスなどをセンシングし、省資源、高効率に最も適した集積化センサチップ及びセンサネットワークシステムを検証するとともに、省エネルギー、低炭素化などに関する効果を分析するための、センサネットワークシステムを試作する。

２）低環境負荷型プロセス技術開発
シリコン貫通深掘り加工、様々な異種デバイスをウェハレベルで一括集積化する技術、及び多品種少量生産における製造歩留り向上、性能ばらつき低減を目指したMEMS三次元設計・計測情報の共有化技術などを開発する。




　さらには、本研究に必要な設備として産総研集積マイクロシステム研究センターの中に先端的な８インチMEMS製造ラインを導入することとしています。

（参考）
　→ Gデバイス＠BEANSの概要
　→ ブログ記事